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삼불화질소

화학식:NF3
순도 규격:4N6
포장:47L/470L/Bundle/ISO
무게:20kg/200kg/320kg/4t/6t/8t
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전화:+86-0310-7182855
사서함:718@pericsg.com
주소: 허베이성 한단시 페이샹구 화공공업취집구 위오로 1번
상품설명
사양

IC 분야에서 반도체 산업 중 가스 세정제로 사용되는 과불화탄소 PFC가 환경에 유해하기에 최근 몇 년래 점차 삼불화질소 NF3로 대체되고 있습니다. NF3를 화학 증착 CVD 세정제로 사용하는 것은 과불화탄소에 비해 오염물 배출량을 90% 감소시키고 세정 속도를 현저하게 향상시킬 수 있으며 세정 장비의 능력을 30% 높일 수 있습니다. LCD 분야에서는 NF3를 부식액으로 사용할 수 있고 디스플레이 LCD의 가공에도 사용할 수 있습니다. 때문에 최근 NF3 수요가 급격히 증가하고 있습니다. 태양 전지 분야에서 NF3는 부식 및 세정 가스로 태양 전지 제조 업계에서 널리 사용되고 있습니다.

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